万业企业：自四季度起已向客户逐步交付CVD设备和刻蚀设备-即时焦点
2022-12-28 05:52:49
来源：界面新闻
【资料图】
万业企业12月26日在互动平台表示，今年以来嘉芯半导体中标设备品类包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积及二氧化硅等离子薄膜沉积等多品类设备。自今年四季度起公司已成功向客户开始逐步交付CVD设备和刻蚀设备，公司也将争取在今年确认更多专用设备制造业务收入。
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