晶瑞电材：KrF高端光刻胶部分品种已量产 全球看点
2023-03-26 22:54:11
来源：界面新闻
(相关资料图)
晶瑞电材3月13日在投资者互动平台表示，公司子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品分辨率达到了0.25-0.13μm的技术要求，已通过部分重要客户测试，KrF高端光刻胶部分品种已量产。
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